[이지경제=정석규 기자] SK하이닉스와 가우스랩스는 미국 캘리포니아주 새너제이에서 열린 ‘국제 광학·포토닉스 협회 첨단 리소그래피(SPIE AL) 2024‘에 참가해 인공지능(AI) 기반 반도체 계측 기술 개발 성과를 발표했다고 29일 밝혔다.

SK하이닉스는 반도체 수율과 생산성을 높이기 위해 그동안 가우스랩스와 다양한 영역에서 협업해왔다. 이번 학회에서 두 회사의 개발 성과가 담긴 논문 2편을 발표했다.

가우스랩스는 인공지능(AI) 기반 가상 계측(VM) 솔루션 ‘파놉테스 VM‘의 예측 정확도를 높이는 알고리즘인 ‘통합 적응형 온라인 모델‘을 소개했다.

SK하이닉스는 2022년 12월부터 파놉테스 VM을 도입해 현재까지 5000만장 이상의 웨이퍼에 가상 계측을 진행했다.

이를 시간으로 환산하면 초당 1개 이상의 웨이퍼를 가상 계측한 것이다. 이 소프트웨어의 성능에 힘입어 SK하이닉스는 공정 산포(제품의 품질 변동 크기)를 약 29% 개선했다.

가우스랩스가 새로 공개한 알고리즘은 기존 적응형 온라인 모델을 업그레이드한 버전으로, 데이터 부족 문제를 해결하는 동시에 예측 정확도를 높였다.

김영한 가우스랩스 대표는 ”앞으로도 AI 기반의 다양한 솔루션 제품을 지속 출시해 제조 현장의 인공지능화를 선도할 것”이라고 말했다.

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